超(chao)聲(sheng)波(bo)(bo)相(xiang)控(kong)(kong)陣是由多個壓電片(pian)按(an)一定的(de)(de)(de)分布(bu)規(gui)律(lv)排(pai)列，然后(hou)按(an)預(yu)定的(de)(de)(de)延時(shi)時(shi)間依(yi)次(ci)激勵(li)各片(pian)的(de)(de)(de)超(chao)聲(sheng)探頭晶片(pian)組(zu)合而(er)成。所有(you)晶圓發射超(chao)聲(sheng)波(bo)(bo)形成完整的(de)(de)(de)波(bo)(bo)前，可以有(you)效控(kong)(kong)制發射的(de)(de)(de)超(chao)聲(sheng)波(bo)(bo)束(波前(qian))的(de)(de)形狀和(he)方(fang)向，實現(xian)超聲(sheng)波束(shu)的(de)(de)掃描(miao)、偏轉和(he)聚焦。它提供了比單個(ge)或多個(ge)探(tan)頭(tou)系(xi)統更大的(de)(de)能力(li)來確定不連續的(de)(de)形狀、大小(xiao)和(he)方(fang)向。

超聲波(bo)相控(kong)陣檢測技術采用不(bu)同形狀的多元件換能器(qi)來(lai)產生和接收超聲波(bo)波(bo)束(shu)。通(tong)過控(kong)制換能器(qi)陣列中各元件發射(或接收(shou))脈沖的不同延遲時間，改變(bian)聲(sheng)波(bo)到達(或從)物體某(mou)一點時的(de)相位關系(xi)，實現聲束(shu)焦點和(he)方(fang)向的(de)改(gai)變，從而實現超聲波束(shu)掃描(miao)、偏轉和(he)聚(ju)焦。然后，采用機械掃描(miao)和(he)電子掃描(miao)相結合的(de)方(fang)式實現圖像成像。

通常采用一(yi)維線性陣列探頭，壓(ya)電片呈直線狀排列，聲(sheng)場聚焦呈片狀，可以(yi)獲得缺陷的二維圖像，在(zai)工業上得到了廣(guang)泛的應用。

陣(zhen)列(lie)，顧(gu)名思義，就是排列(lie)在探針中的芯片的幾何形狀。相控(kong)陣(zhen)探頭主(zhu)要有(you)三種類(lei)型:線性(線性陣(zhen)列)、平面(二維矩形陣列)和圓形(圓形陣(zhen)列)，如圖3所示。大多數相(xiang)控陣探頭采用線性陣列，因(yin)為線性陣列易于編程，并(bing)且成(cheng)本明顯低于其他陣列。

當使(shi)用相控(kong)陣(zhen)探(tan)(tan)測(ce)探(tan)(tan)頭(tou)檢測(ce)焊(han)(han)縫(feng)時，不需要像常規(gui)的(de)(de)單探(tan)(tan)頭(tou)那樣在(zai)焊(han)(han)縫(feng)兩側頻(pin)繁地(di)來(lai)回移動。相反，相控(kong)陣(zhen)探(tan)(tan)頭(tou)沿著焊(han)(han)縫(feng)的(de)(de)長(chang)度方向平行于焊(han)(han)縫(feng)進行直線掃(sao)描(miao)，對(dui)焊(han)(han)接接頭(tou)進行全(quan)體(ti)積檢查。這(zhe)種(zhong)掃(sao)描(miao)方法可以通(tong)過配備陣(zhen)列探(tan)(tan)頭(tou)的(de)(de)機械掃(sao)描(miao)儀沿著精確定位的(de)(de)軌跡滑動來(lai)完成，也可以通(tong)過手動方式完成，實現快速檢測(ce)和非常高(gao)的(de)(de)檢測(ce)效率。